Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Faça login para que possamos notificá-lo sobre uma resposta
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Автор:
Автор:Родионов Юрий Анатольевич
Переплет:
Переплет:твердый
Categorias:
- Категория:Arte e fotografia
- Категория:Engenharia e Transporte
- Категория:Livros médicos
- Категория:Agricultura
Язык издания:
Язык издания:русский
Бумага:
Бумага:офсетная
ISBN:
ISBN:978-5-9729-0337-5
Nenhum comentário encontrado