Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие
Faça login para que possamos notificá-lo sobre uma resposta
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Автор:
Автор:Цветков Юрий Борисович
Переплет:
Переплет:мягкий
Categorias:
- Категория:Engenharia e Transporte
- Категория:Diretórios
ISBN:
ISBN:978-5-7038-4864-7
Nenhum comentário encontrado