Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие
Войдите в учётную запись, чтобы мы могли сообщить вам об ответе
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.
Автор:
Автор:Гридчин Александр Викторович
Переплет:
Переплет:твердый
Категория:
- Категория:Компьютерные технологии
- Категория:Инженерное дело и транспорт
Размеры:
Размеры:21.7x15.4x1.4 см
ISBN:
ISBN:978-5-9729-1613-9
Отзывы не найдены