Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Войдите в учётную запись, чтобы мы могли сообщить вам об ответе
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Автор:
Автор:Родионов Юрий Анатольевич
Переплет:
Переплет:твердый
Категория:
- Категория:Искусство и фотография
- Категория:Инженерное дело и транспорт
- Категория:Медицинские книги
- Категория:Сельское хозяйство
Язык издания:
Язык издания:русский
Бумага:
Бумага:офсетная
ISBN:
ISBN:978-5-9729-0337-5
Отзывы не найдены