Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие
Войдите в учётную запись, чтобы мы могли сообщить вам об ответе
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Автор:
Автор:Цветков Юрий Борисович
Переплет:
Переплет:мягкий
Категория:
- Категория:Инженерное дело и транспорт
- Категория:Справочники
ISBN:
ISBN:978-5-7038-4864-7
Отзывы не найдены