Основы технологии электронной компонентной базы
Войдите в учётную запись, чтобы мы могли сообщить вам об ответе
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".
Автор:
Автор:Бодров Евгений Эдуардович
Переплет:
Переплет:твердый
Категория:
- Категория:Инженерное дело и транспорт
- Категория:Справочники
ISBN:
ISBN:978-5-9729-0846-2
Отзывы не найдены