Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Войдите в учётную запись, чтобы мы могли сообщить вам об ответе
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Автор:
Автор:Родионов Юрий Анатольевич
Переплет:
Переплет:твердый
Категория:
- Категория:Инженерное дело и транспорт
- Категория:Справочники
Серия:
Серия:Радиоэлектроника и приборостроение
ISBN:
ISBN:978-5-8114-5788-5
Отзывы не найдены